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共聚焦显微镜
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Sensofar共聚焦显微镜是一款先进的非接触式3D光学轮廓仪,专为高精度表面计量而设计。其核心技术基于共聚焦原理,通过微显示器扫描技术实现无运动部件的高速轴向扫描,能精准获取样品表面形貌。该系统具备横向分辨率(可达0.15μm线条与空间)和纳米级垂直重复性。
Sensofar共聚焦显微镜是一种先进的非接触式3D光学表面测量仪器。其核心采用微显示器扫描技术,实现无运动部件的稳定快速采集。该系统具备0.15μm的横向分辨率和低至1nm的系统噪声,能够测量从光滑到86°陡峭斜率的粗糙表面。通过“连续共聚焦”算法,扫描速度提升3倍。
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