Sensofar是一家来自西班牙、专注于三维表面形貌测量的高科技公司，成立于1999年。它最鲜明的特点是将共聚焦、白光干涉和多焦面叠加三种测量技术融于一身。
Sensofar共聚焦显微镜的核心定位是非接触式3D光学表面轮廓仪。它不仅仅是一台显微镜，更是一台高精度的计量仪器。其显著的特点是将多种光学测量技术集成于一体，用户可以根据样品特性在同一台设备上无缝切换最合适的测量模式，以获得精确的数据。新型Sensofar共聚焦显微镜S neox在性能、功能、效率和设计方面优于现有的3D光学轮廓仪，是新一代共聚焦显微镜测量系统。
特点：
1.惊人的测量速度
通过采用新的智能和自有的算法以及新型相机，达到惊人的测量速度。数据采集速度达 180 fps。标准测量采集速度比以前快5倍。新型Sensofar共聚焦显微镜S neox 成为市场上速度极快的表面测量系统。
2.易于使用
Sensofar致力于为客户提供最令人难以置信的体验。随着第五代 S neox 共聚焦显微镜系统的诞生，我们的目标是使其易于使用、直观且更快速。即使是初学者，只需点击一下，即可操作测量。模块化设计的软件，使系统适应用户多样的需求。
3.丰富的自动化模块，方便进行质
量管控。从操作员访问权限控制、测量程序存储、兼容性到条形码/QR 读取器，以及我们专有 SensoPRO 软件中的定制插件，都可以自动生成分析报告。我们的优化解决方案能够在 QC 环境中工作，其具有灵活性和易于使用的界面，可编程并24小时工作。
4.研发
Sensofar的三合一方法—只需点击一次，系统即可切换到适合当前测量任务的扫描模式。在 S neox 传感器头中配置三种测量技术—共聚焦、干涉、Ai 多焦面叠加—这些都为系统的多功能性做出了重要贡献，并有助于非常有效地减少数据采集中的噪点。S neox 是所有实验室环境的理想之选,适用范围广泛。
5.Ai 多焦面叠加NEW!
主动照明多焦面叠加是一种为了测量大粗糙表面形状而开发的光学技术。这项技术基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 测量领域的广泛专业知识，专门设计用于补充低放大率下的测量。通过使用主动照明，即使在光学平滑的表面上也能获得更可靠的测量数据，这一点已经得到了改进。该技术的亮点包括高斜率表面(高达 86º),更快的速度(mm/s)和较大的垂直范围测量。
6.共聚焦
共聚焦轮廓仪的开发目的是，测量从光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦轮廓提供更佳的横向分辨率，可达 0.14μm 水平分辨率，空间采样可减少到 0.01μm，这是关键尺寸测量的理想选择。高达NA (0.95) 和放大倍率(150X) 的物镜可用于测量局部斜率超过 70°的光滑表面。对于粗糙表面，可允许 86°。自有的共聚焦算法提供了纳米尺度上的垂直重复性。
7.干涉
光学干涉是利用参考镜和样本上产生的两束反射光在零光程差时产生干涉的现象来生成三维干涉图样(干涉图)，包含样本表面形貌上的信息。该方式的各种变化可用于具体不同的应用。
8.薄膜
薄膜测量技术快速、准确、无损地测量光学透明层的厚度，且不需要样品制备。该系统获取可见光范围内样品的反射光谱，并与软件计算的模拟光谱进行比较，准确地找到匹配的厚度。可以在不到一秒钟的时间内测量出 50nm 到 1.5μm 的透明膜。测量光斑取决于物镜放大率，范围从0.5μm到40μm。
9.LED光源的优势
用LED做照明光源要比用激光更有优势。首先LED光源可以避免发生激光光源的散斑现象。其次LED光源的使用寿命约50000小时(约25倍于激光)。最重要的是多个LED就意味着可以根据样品的需求选择适合的波长来测量。
10.可追溯的精确测量
每一台SNEOX都是为了实现精确且可追溯地测量。我们的设备使用符合ISO25178中的Part 700和Part 600标准的可追溯标准块进行校正。所有的指标，包括高度及水平精度、平面度偏差、系统分辨率等都以测量此类标准块而得到。我们坚持所有的测量设备按照此标准执行。
SNEOX出厂前都采用已计量、可追溯的标准块做校正，并且确认符合标准才会出厂。同时SENSOFAR会随设备附上测量精度和重复性的检测报告。
S neox系列(旗舰型)：这是Sensofar的第五代产品，代表了其技术的集大成者。它搭载了Microdisplay共焦技术，扫描头内无运动部件，既保证了高速扫描(数据采集达180帧/秒)，又避免了震动对精度的影响。此外，其"连续共聚焦扫描"技术还能将扫描速度再提高3倍。Z轴精度可达0.1纳米，XY轴分辨率最高0.14微米。
主要应用领域：
凭借其高精度和多技术的适应性，Sensofar的显微镜被广泛应用于各个高精尖领域：
1.半导体与微电子：用于晶圆表面形貌、台阶高度、刻蚀深度的纳米级检测。
2.精密制造：测量汽车零部件、光学镜片、精密模具的粗糙度、轮廓和磨损情况。
3.医疗器械：评估支架、骨科和牙科植入物的表面纹理，以确保其生物相容性。
4.材料科学：分析新材料、涂层的表面特征和摩擦学性能。
5.科研与学术：为大学和研究机构提供高精度的三维表面表征工具，例如北京大学、南京市计量监督检测院等都是其用户。
