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品牌 | Nikon/日本尼康 | 价格区间 | 面议 |
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产地类别 | 进口 | 应用领域 | 医疗卫生,电子,航天,汽车,电气 |
尼康工具显微镜MM-800
MM-400/800系列结合了*测量显微镜的关键性能特点:
更精确
数字成像和视觉处理计量学
更大的舞台,增加样品处理
非接触Z高度测量
与数据处理系统DP-E1A的协调
10个可用于不同应用的主体
对于大行程阶段(最大值为300mm x 200mm x 200mm)
MM-800/LM:电动Z轴
MM-800/L:内置Z线性刻度
MM-800:双轴测量模型
MM-800/S:用于第三方DRO
MM-800/SL:用于内置Z线性刻度的第三方DRO
对于较小冲程阶段(最大,150mm x 100mm x 150mm)
MM-400/LM:电动Z轴
MM-400/L:内置Z线性刻度
MM-400:双轴测量模型
MM-400/S:用于第三方DRO
MM-400/SL:用于内置Z线性刻度的第三方DRO
尼康工具显微镜MM-800特征
300mm x 200mm载物台
增加的机身强度允许使用更大的工作台,例如PS12x8C工作台,从而允许使用更大的工件。
MM控制器背包接口
照明、X/Y阶段和Z数据可以连接到MM控制器,作为运行E-Max软件的外部计算机的接口,用于数据处理和系统控制。
全白色LED照明器
高强度白色LED照明器是brightfield的标准配置。该光源无需更换灯泡,色温恒定,测量精度高,效率高。
聚焦援助(FA)
提供锐利的图案,在Z轴测量期间实现精确聚焦。由于不同目标的聚焦深度不同而产生的测量误差被最小化。
应用
半导体封装、键合放置、回路高度、FPD面板(LCM)MEMS、晶圆级CSP、HDD滑块
FPC的金属化图案 FFD-单元工艺 CCD 彩色滤片
明场 暗场 明场 反射荧光
DIC
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