尼康自动影像测量仪

尼康自动影像测量仪VMZ-S3020

——高精度/高速度/高可用性

放大率、AF和照明条件可以针对每个样品进行微调。适用于机械、电气/电子、汽车和医疗设备等产品的小部件。

l  NEXIV VMZ-S新功能

l  6种光学变焦头

l  检测0.1毫米透明层

l  8段LED环形照明器

l  15X高速变焦

NEXIV VMZ-S的新功能：

视野范围内的高精度(FOV)

规定了FOV范围内的精度（PF2D、PFV2D）。尼康设计的光学系统提供高质量的图像，并实现精确的测量数据。

探测误差* PF2D 0.8μm

*2型变焦头。由尼康内部测量方法确定。测量圆形参考装置的周长。它包括载物台移动，视场内的卡钳均匀放置在周长的25个点上。

成像探头的探测误差* PFV2D 0.3μm

*2型变焦头。由尼康内部测量方法确定。测量25个点，这些点均匀地放置在屏幕上一个位置的圆形设备的周长上（无台移动）。

提高吞吐量

通过实现更快的短距离载物台移动，吞吐量有所提高。这有助于缩短测量时间。

新设计

随着外观设计的改变，用于载物台和光学头运动的操纵杆经过了重新设计，使操作更容易，在长时间使用时更少疲劳。

六种光学变焦头

标准放大变焦头：1、2、3型

1型、2型和3型都有尼康15倍变焦光学系统，工作距离长，视场宽，NA高达0.35。他们配备了LED透视照明器和立体照明器，以及具有三个入射角的LED 8段环形照明器。

高倍率变焦头：4型和TZ型

类型4和TZ有尼康15倍和120倍变焦光学系统，具有更高的放大率和更高的NA 0.46。类型4配有LED透视和立体照明器，以及具有50度入射角的LED 8段环形照明器。TZ有LED视、视（用于更高的放大率）和暗场照明器。   

宽视野变焦头：A型

A型采用尼康10倍变焦光学系统，具有最宽的视场、最长的工作距离和最高的NA 0.11。它配有LED视景照明器和立体照明器，以及具有18度入射角的LED 8段环形照明器。

放大率与视野（mm）

标准放大变焦头：1、2、3型

高倍率变焦头：4型和TZ型

宽视野变焦头：A型

*总放大率是VMZ-S系列推荐的24英寸WUXGA显示器（1920×1200像素）上640×480像素的视频窗口的放大率。

0.1mm透明层的检测

TTL激光AF设计用于检测薄透明材料的表面，具有高速和高精度。

*A型不适用

聚焦在红色顶面         聚焦在蓝色底面       TTL激光自动对焦

该传感器检测顶部和底部                                                                                       表面反射的激光束。

8段LED环形照明器

标准放大变焦头（1-3型）配备8段LED内环和外环照明器，以及视景和视景照明器。通过改变8段LED环形照明器的照明角度，可以轻松调整光强度。

*4型8段环形照明器的角度为50度，A型为18度。

15倍高速变焦

5步高速变焦，变焦率为15倍，可在低倍率下实现宽视野，在高倍率下实现高分辨率观察（适用于1、2、3、4型）。

0.5x                               1x                               2x                                 4x

7.5x

尼康自动影像测量仪VMZ-S3020