上海茂鑫实业
Shanghai Maoxin industry专注光学仪器
德国徕卡LEICA显微镜尼康株式会社的工业计量业务部门近期发布了自动晶圆测量系统NEXIV VMZ-NWL 200,以解决半导体后端工艺中晶圆计量的挑战,传统上手动执行的工作多于前端过程控制。因此,NEXIV VMZ-NWL 200 的主要目标市场是以后端半导体制造工艺为中心的测量。
NEXIV VMZ-NWL 200 缓解了手动测量熟练技术人员的短缺。半导体行业沿着小型化的道路发展,这提高了测量所需的技能水平,并减少了可用的工程师数量。另一方面,半导体市场继续扩大,因此越来越多的计量机会被提供给越来越少的人。因此,使用传统光学显微镜的手动测量已达到极限。
NEXIV VMZ-NWL 200 是一种根据测量程序自动测量载体中保存的 6 英寸或 8 英寸晶圆的系统。NEXIV的可靠性和使用NWL的稳定晶圆加载确保了测量的高重复性。该系统允许使用专用软件直观地选择要测量的芯片。因此,任何人都可以以高度的可靠性获得所需的芯片测量结果。此外,还可以跟踪测量的时间和程序,有助于提高可追溯性。
该系统在设计时考虑到了安全性,并提供了保护盖,以防止因操作员错误而造成的损坏。操作符合 SEMI 国际标准 S2、S8 和 F47。
关于尼康计量
尼康基于公司 100 多年历史中积累的先进光电子和精密技术,在全球范围内提供各种产品、服务和解决方案。该集团继续创造新的价值,以各种形式为提高生活质量和制造业做出贡献。尼康的工业计量业务部 (IMBU) 提供集成、优化的超高精度解决方案,这些解决方案不仅具有定制性和成本效益,而且在实施后立即运行良好。在尼康数字制造旗下的最新发展是IMBU与公司数字解决方案业务部门(DSBU)之间更紧密的合作,该部门推出了一系列光学增材和减材制造解决方案,用于加工各种亚微米表面光洁度的材料。